Zorg voor een experimentele omgeving met vacuüm, regelbare atmosfeer en hoge temperatuur, gebruikt in halfgeleiders, nanotechnologie, koolstofvezel en andere gebieden.
Dit CVD-groeisysteem is geschikt voor CVD-processen, zoals siliciumcarbidecoating, geleidbaarheidstesten van keramische substraten, gecontroleerde groei van ZnO-nanostructuren en MLCC-atmosfeersinterexperimenten.
1.De oven is gemaakt van polykristallijne mullietvezel vacuümadsorptie, het temperatuurveld is uniform en de energiebesparing is meer dan 50%
2. De zelfontwikkelde luchtomleidings- en warmte-isolatietechnologie zorgt voor de levensduur en het constante temperatuureffect van elk onderdeel in de doos
3.Wanneer de elektrische oven wordt gestart, zal de afzuigventilator automatisch tegelijkertijd draaien. Na de test blijft de afzuigventilator draaien totdat de temperatuur van het ovenlichaam lager is dan 60 °C en stopt de afzuigventilator automatisch, wat het oppervlak van het ovenlichaam effectief beschermt.
4. De ovendeur wordt geopend met automatische uitschakeling, oververhittingsbeveiliging en lekkagebeveiliging om de veiligheid van het gebruik te garanderen.
5. Het circuit maakt gebruik van een continue verwarmingsuitgangsmodus, een voeding met twee circuits en een afzonderlijke bedrading van sterke en zwakke stroom verbetert de stabiliteit van het systeem
6. De verwarmingsmodule gebruikt het DC-signaal om het uitgangsvermogen aan te passen, waardoor de interferentie van geïnduceerde elektriciteit met het stuursignaal wordt vermeden.
7.Low-voltage metalen knoppen worden gebruikt voor bedieningsknoppen, met statusindicatielampjes, veilige en intuïtieve bediening.
8.De bovenste en onderste ovenlichamen zijn verbonden door luchtvaartpluggen, die veilig, betrouwbaar en gemakkelijk aan te sluiten zijn.
9.Het gascircuit is gemaakt van roestvrij staal 316 van voedingskwaliteit, dat corrosiebestendig is, bestand is tegen atmosferische corrosie en bestand is tegen hoge temperaturen, en niet-magnetisch is
10. Adopteer een digitaal stroomweergave-instrument, werk samen met de massastroomregelaar, verzamel gegevens en regel de stroom. Het heeft de kenmerken van goede herhaalbaarheid, snelle reactiesnelheid, stabiliteit en betrouwbaarheid. (Gasmassastroomcontrolesysteem)
11. Automatische besturing en handmatige besturingsschakelfunctie, de automatische besturingsmodus kan de vacuümpomp automatisch openen / sluiten via de ingestelde waarde, zodat de container binnen een bepaald vacuümdrukbereik kan worden gehouden. De handmatige bedieningsmodus gebruikt de gebruiker om de vacuümpomp rechtstreeks te bedienen via de aan/uit-knop van de vacuümpomp. om aan de behoeften van verschillende experimenten te voldoen. (Medium vacuümcontrolesysteem)
12.De langzame starttechnologie van de magneetklep zorgt ervoor dat de magneetklep 10 seconden na het inschakelen van de vacuümpomp opengaat, zodat de systeemdruk in de ovenbuis nauwkeurig wordt gehouden en het zorgt er ook voor dat het uitlaatgas niet terugkeert naar de oven buissysteem om het experimentele effect te beïnvloeden (medium vacuümcontrolesysteem)
Model | CVD-LTF12P50 | CVD-LTF12P60 | CVD-LTF12P80 | CVD-LTF12P100 |
CVD-LTF12T50 | CVD-LTF12T60 | CVD-LTF12T80 | CVD-LTF12T100 | |
CVD-LTF12P50S | CVD-LTF12P60S | CVD-LTF12P80S | CVD-LTF12P100S | |
CVD-LTF12T50S | CVD-LTF12T60S | CVD-LTF12T80S | CVD-LTF12T100S | |
Bedrijfstemperatuurbereik | 300-1200°C | |||
temperatuur resolutie | 1°C | |||
temperatuur nauwkeurigheid | ±1°C | |||
Verwarmingssnelheid | 0-20°C/min | |||
Lengte verwarmingszone | 420mm | |||
Lengte van zone met constante temperatuur | Enkele temperatuurzone: 210 mm; Dubbele temperatuurzone: 280 mm | |||
maximaal vacuüm | -0.1MP3 | |||
Lege oven verwarmingstijd | ≤15min | |||
Verwarmingssnelheid bij het configureren van de ovenbuis | Onder 500°C≤5°C/min; 500-800≤ 10°C/min; 800-1000≤5°C/min; 1000-1200≤2t°C/min | |||
Buitenkant | Koudgewalste staalplaten - oppervlaktecoating die bestand is tegen chemicaliën | |||
Oven lichaam | Polykristallijne mullietvezel | |||
Oven grootte | Buiten: φ240-550 mm; Binnen: φ120 * 420 mm | |||
Oven buis | Kwarts buis | |||
Oven buis maat | φ50/43*1000 | φ 60/53*1000 | φ80/72*1000 | φ 100/92*1000 |
Verwarming | Draad van nikkel-chroom-aluminiumlegering OCr27A17MO2 | |||
Verwarmingsvermogen | Enkele temperatuurzone：3KW：Dubbele temperatuurzone：3.2KW | |||
Thermische isolatielaag | Dubbellaagse geforceerde luchtomleiding | |||
Open manier | Clamshell backflip (ongeveer 100 graden) | |||
Controleur | P: Geïmporteerd programma temperatuurregeling digitaal display; T: 7-inch kleuren touchscreen programma temperatuurregeling | |||
Controle methode | Met behulp van microcomputer PID-regeling / S-type dubbele temperatuurzone enkele temperatuurregeling | |||
Type instellen | P: Raak vijf knoppen aan voor actie, digitale display-instelling; T: vingeraanraking en tik om in te stellen | |||
Weergave methode | P: digitaal LED-display met dubbele regel; T: LCD-kleurenscherm | |||
Tijdstip | 0-999.9 uur | |||
Run-functie | Bediening met vaste waarde. Programma bediening | |||
Programma modus | P: programma loopt, 4 curves, in totaal 40 stappen; T: Maximaal 50 stappen, het opgeslagen programma kan worden opgeroepen | |||
Sensor | Type K thermokoppel | |||
Hulpfunctie | P: correctiefunctie; T: correctiefunctie, real-time curve-opname, export van U-schijfgegevens | |||
Veiligheids uitrusting | Beveiligingsschakelaar tegen overstroomlekkage | |||
Aantal luchtpaden | 3 kanalen (het aantal luchtkanalen kan worden geselecteerd op basis van specifieke behoeften) | |||
Stroom bereik | 0-0500sccm (standaard ml/min, optioneel) Stikstofstandaard | |||
Precisie | ±1%V.S | |||
Reactietijd | ≤4s | |||
Bedrijfstemperatuur (flowmeter) | 5-45°C | |||
Werk druk | Inlaatdruk 0.05-0.3MPa (overdruk) | |||
Systeem verbinding | Gebruik een KF-balg met snelle verbinding, handmatige hoogvacuümklep en een vacuümmeetinstrument met digitaal display | |||
Systeemvacuümbereik | 10-100Pa | |||
Vacuum pomp | De theoretische ultieme vacuümgraad van de tweetraps mechanische pomp is 3 × 10-1Pa, de pompsnelheid is 4L / S, de luchtuitlaat is uitgerust met een oliefilter, de nominale spanning is 200V en het vermogen is 0,55Kw | |||
CVD-systeemconfiguratie | 1200 graden open vacuümbuisoven (optionele enkele temperatuurzone, dubbele temperatuurzone) Meerkanaals massastroomcontrolesysteem gedraaid vacuümsysteem | |||
Afmetingen ovenlichaam | 980mm*400mm*600mm | |||
Systeem afmetingen | 770mm*580mm*778mm | |||
Totaal systeemgewicht | 210kg | |||
We hebben een standaard productiewerkplaats en een compleet productieteam. Ze produceren altijd een serieuze en verantwoordelijke houding om elk product te produceren. Ons R & D-team bestaat uit professionele ingenieurs met meerdere aspecten, zoals ontwerpingenieur, technologiespecialist, gekwalificeerde specialist en procescontrolemanager, enz. Onze gekwalificeerde specialisten realiseren strikt het uitgebreide procestoezicht op basis van ons kwaliteitsprocescontrolesysteem, dat het ontwerp van producten bevat , onderzoek en ontwikkeling, testen, productie, kwaliteitsinspectie en verpakking.
Onze productverpakkingen hebben zich op de lange termijn bewezen en we hebben meestal multiplex dozen of dozen met trays. We zullen de juiste verpakking regelen op basis van het gewicht en de grootte van de goederen. U kunt natuurlijk ook de verpakkingsvorm kiezen.
Onze laboratoriuminstrumenten en -apparatuur worden gebruikt in veel wetenschappelijke laboratoria, wetenschappelijke onderzoeksinstellingen, universiteiten, ziekenhuizen, centra voor ziektebestrijding en andere instellingen, en worden gecombineerd met vele bekende biofarmaceutica, nieuwe energie, elektronicabedrijven, voedselverwerking, milieubescherming, enz. Samenwerking tussen bedrijven, onze stabiele en betrouwbare producten worden geëxporteerd naar meer dan 120 landen over de hele wereld en worden door hen zeer erkend, geloof LABOAO, we groeien samen!
